Konstruktion

Zum Nachweis der Leistungsfähigkeit neuer Prozesstechnologien sind aussagekräftige und praxisrelevante Demonstratorgeometrien notwendig. Diese versehen wir gezielt mit herausfordernden Schikanemerkmalen, um neue Prozessmöglichkeiten und verschobene Prozessgrenzen aufzuzeigen.

Zur Ableitung von herausfordernden Geometriemerkmalen nutzen wir unser umfangreiches Prozessverständnis, mit unseren leistungsfähigen Simulationsmodellen treiben wir sie bis zur Machbarkeitsgrenze und mit unseren Partnern bringen wir sie in die Praxis.

Forschungsschwerpunkte

• Demonstratorentwicklung
• Prozessverständnis
• Werkzeugkonzepte